活塞旋片式真空泵主要由泵體、旋片、偏心活塞、排氣閥、油封等部件組成。泵腔內(nèi)，旋片與泵腔內(nèi)壁及偏心活塞之間形成多個(gè)密封空間。旋片由彈性材料制成，能夠緊密貼合泵腔內(nèi)壁及活塞表面，實(shí)現(xiàn)密封。當(dāng)泵開始工作時(shí)，偏心活塞在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，旋片隨之在泵腔內(nèi)做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在吸氣階段，旋片與泵腔內(nèi)壁之間的密封空間逐漸擴(kuò)大,形成低壓區(qū)域。外界氣體通過進(jìn)氣口進(jìn)入泵腔被旋片引導(dǎo)至低壓區(qū)域。隨著偏心活塞的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，旋片與泵腔內(nèi)壁之間的密封空間逐漸宿小，對(duì)吸入的氣體進(jìn)行壓縮。當(dāng)壓縮空間縮小到程度時(shí)，氣體壓力超過排車氣閥的開啟壓力,排氣閥打開壓縮后的氣體通過排氣閥排出泵腔。密封性是真空泵性能的關(guān)鍵。旋片與泵腔內(nèi)壁及偏心活塞之間的緊密貼合保證了良好的密封效果。同時(shí)，泵臍內(nèi)填充的潤滑油不僅能夠潤滑旋片和活塞，減少磨損，還能起到密封作用，防止氣體泄漏。封則位于泵的輸入輸出端口，防止?jié)櫥屯庑?。雙級(jí)活塞旋片式真空泵在結(jié)構(gòu)上采用兩級(jí)串聯(lián)設(shè)計(jì)。級(jí)泵腔負(fù)責(zé)初步抽氣，將氣體壓縮至程度后送入二級(jí)泵腔進(jìn)行進(jìn)一步壓縮和排氣。這種設(shè)計(jì)能夠顯著提高泵的抽氣速度和真空度。